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蔵書情報

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所蔵数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

トコトンやさしい超微細加工の本   B&Tブックス  今日からモノ知りシリーズ   

著者名 麻蒔 立男/著
著者名ヨミ アサマキ タツオ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2004.1


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資料情報

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No. 所蔵館 状態 請求記号 帯出区分 資料番号 資料種別 配架場所 貸出
1 本館在庫  549/ア/   114387079一般開架   

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芸能-歴史 日本-芸能
772.1 772.1

書誌詳細

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タイトル番号 1009810465687
書誌種別 図書
書名 トコトンやさしい超微細加工の本   B&Tブックス  今日からモノ知りシリーズ   
著者名 麻蒔 立男/著
書名ヨミ トコトン ヤサシイ チョウビサイ カコウ ノ ホン  ビー アンド ティー ブックス 
著者名ヨミ アサマキ タツオ
叢書名 B&Tブックス
出版者 日刊工業新聞社
出版地 東京
出版年月 2004.1
ページ数 159p
大きさ 21cm
価格 ¥1400
言語区分 日本語
ISBN 4-526-05226-4
分類 549
分類 549
件名 電子工学 ナノテクノロジー
内容紹介 電子デバイスに欠かせないキーテクノロジーであり、ナノテクノロジーの中核技術として注目されている超微細加工について、半導体部品などへの適応を中心に、基礎を図解でやさしく解説する。
著者紹介 昭和9年愛知県生まれ。静岡大学工学部電子工学科卒業。日電バリアン(現、アネルバ)設立。同社取締役も務めた。現在、東京理科大学嘱託教授。著書に「真空の話」「薄膜作成の基礎」ほか。



内容細目

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